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新材料半導(dǎo)體生產(chǎn)的廢氣怎么處理好?看看鑫藍(lán)這套廢氣治理設(shè)備

文章出處:鑫藍(lán)環(huán)保鑫藍(lán)動(dòng)態(tài)網(wǎng)責(zé)任編輯:蔡作者:蔡人氣:-發(fā)表時(shí)間:2022-09-10 00:00:00【

 隨著我國(guó)工業(yè)技術(shù)的發(fā)展,其中半導(dǎo)體行業(yè)需求也加大,但隨之而來(lái)也帶有VOC廢氣對(duì)大氣污染。半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)生產(chǎn)車間清潔度要求高,因此廢氣排放風(fēng)量較大、排放濃度小的。主要來(lái)源于芯片或者是線路板出產(chǎn)的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影過(guò)程中以及對(duì)電路板進(jìn)行清洗。主要成分有機(jī)廢氣和酸堿廢氣兩類。在整個(gè)工藝加工的過(guò)程中將會(huì)有部分的有機(jī)溶劑大部分通過(guò)揮發(fā)成為廢氣排放,這部分揮發(fā)的廢氣主要成分為具有揮發(fā)性的VOCs,下面昆山鑫藍(lán)環(huán)保小編簡(jiǎn)單介紹半導(dǎo)體廢氣處理解決方案。

 

半導(dǎo)體廢氣處理解決方案:

(1預(yù)處理階段一般采用噴淋塔先對(duì)廢氣進(jìn)行預(yù)處理,去除粉塵以及易溶于水的有害氣體。

(2主要處理階段在此階段,比較常見(jiàn)而有效方法有UV光催化,焚燒和催化燃燒等。

這幾種單一方式各有優(yōu)劣,根據(jù)大多數(shù)電子廠廢氣的情況,在這里我們主要推薦活性炭吸附+催化燃燒組合工藝去除VOCs氣體的方案。

1、活性炭吸附

有機(jī)廢氣由風(fēng)機(jī)提供動(dòng)力,正壓或負(fù)壓進(jìn)入活性炭吸附,由于活性炭固體表面上存在著未平衡和未飽和的分子引力,因此當(dāng)此固體表面與氣體接觸時(shí),就能吸引氣體分子,使其濃聚并保持在固體表面,污染物質(zhì)從而被吸附,活性炭吸附到一定時(shí)間后,即可進(jìn)入脫附流程,脫附后的氣體即是濃縮后的vocs氣體

2、催化燃燒設(shè)備

本凈化裝置是根據(jù)催化燃燒的基本原理設(shè)計(jì)的,催化凈化裝置內(nèi)設(shè)加熱室、換熱室,啟動(dòng)加熱裝置,進(jìn)入內(nèi)部循環(huán),當(dāng)熱氣源達(dá)到有機(jī)物的沸點(diǎn)時(shí),有機(jī)物進(jìn)入催化室進(jìn)行催化分解成CO2和H2O,同時(shí)釋放出能量。利用釋放出的能量進(jìn)入吸附床脫附時(shí),此時(shí)加熱裝置完全停止工作,有機(jī)廢氣在催化燃燒室內(nèi)維持自燃,尾氣再生,循環(huán)進(jìn)行。余熱經(jīng)過(guò)換熱器進(jìn)行回收,便于下次加熱進(jìn)氣及余熱回收,能量回收效率高,能耗小,有機(jī)物得到催化處理。

   

鑫藍(lán)環(huán)保科技(昆山)有限公司,專注于大型工廠廢氣處理、粉塵處理,公司主營(yíng)產(chǎn)品有:RTO焚燒設(shè)備、催化燃燒設(shè)備、活性炭吸附箱、防爆除塵器、布袋除塵器、濾筒除塵器、酸堿洗滌塔、靜電除油設(shè)備等,公司獲得多項(xiàng)實(shí)用新型證書(shū)。本公司生產(chǎn)設(shè)備和實(shí)施項(xiàng)目具有:節(jié)能環(huán)保、運(yùn)行穩(wěn)定、使用時(shí)間長(zhǎng)、排放達(dá)標(biāo)、項(xiàng)目投入少、處理效果好、設(shè)備噪聲低、處理量大、耐摩擦、維修便捷等特點(diǎn)。

如有半導(dǎo)體廢氣處理方面的問(wèn)題需要解決,歡迎與我們公司取得聯(lián)系。解決1500+企業(yè)廢氣問(wèn)題,一廠一方案過(guò)環(huán)評(píng)!

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