多晶硅，是單質(zhì)硅的一種形態(tài)。熔融的單質(zhì)硅在過冷條件下凝固時，硅原子以金剛石晶格形態(tài)排列成許多晶核，如這些晶核長成晶面取向不同的晶粒，則這些晶粒結(jié)合起來，就結(jié)晶成多晶硅。近年多晶硅太陽能電池產(chǎn)業(yè)得到蓬勃發(fā)展，作為太陽能電池產(chǎn)業(yè)的上游多晶硅產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅猛。多晶硅生產(chǎn)對環(huán)境造成的影響越來越受到關(guān)注。那么你知道硅氣體怎么處理嗎？多晶硅廢氣處理工藝有哪些嗎？下面昆山鑫藍(lán)環(huán)保為您做簡單介紹：

多晶硅廢氣處理方法

硅烷作為一種提供硅組分的氣體源，反應(yīng)性和自燃性，有非常寬的自發(fā)著火范圍和燃燒能量，D性很大。

　1.傳統(tǒng)廢氣處理工藝

　　多晶硅生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢氣、廢液，其主要成分為SiCl4、SiHCl3、HC1、H2、N2及少量的金屬氯化物。目前多晶硅廠幾乎全都采用堿洗噴淋塔工藝，主要是因為其成本較少，工藝流程簡單。工藝大致為：多晶硅生產(chǎn)中廢氣、廢液直接進(jìn)入堿液（NaOH或CaO溶液)噴淋塔，生成NaCl、CaCl2、SiO2（粉）、Na2SiO3等，然后送至后續(xù)的廢水處理，進(jìn)行進(jìn)一步脫鹽和固體廢物處理；出噴淋塔的尾氣（含H2、其他惰性氣體）排空。

　采用堿洗噴淋塔工藝有以下不足之處：

（1）安全性不高（2）大量氯離子排放（3）資源浪費(fèi)

 廢氣焚燒工藝

　　2.廢氣焚燒處理工藝

　　蓄熱焚燒工藝是環(huán)保性和安全性都比較高，可做到對廢氣、廢液有效的治理。其工藝流程為：蓄熱焚燒一余熱回收一二氧化硅回收一急冷塔一鹽酸回收一噴淋塔一排放。

多晶硅生產(chǎn)裝置中產(chǎn)生的廢氣、廢液通過緩沖罐緩沖后，進(jìn)入焚燒爐進(jìn)行高溫氧化反應(yīng)，把氯硅烷有效地分解，生成SiO2、HCl等，出焚燒爐的高溫?zé)煔夂写罅康臒崃?，進(jìn)入余熱鍋爐進(jìn)行降溫并回收煙氣中的余熱，利用煙氣的余熱間接加熱脫鹽水，使其變成蒸汽回用；煙氣經(jīng)余熱鍋爐降溫后進(jìn)入過濾器進(jìn)行氣固分離，去除煙氣中的SiO2粉塵；除塵后的煙氣進(jìn)入急冷塔，通過水的噴淋降低煙氣溫度，噴淋降溫塔出來的鹽酸經(jīng)過石墨換熱器與冷卻水換熱冷卻后進(jìn)入噴淋裝置繼續(xù)對煙氣進(jìn)行降溫，除塵降溫后的煙氣進(jìn)入鹽酸回收裝置回收鹽酸，剩余煙氣中少量的Cl2和HCl通過堿液淋洗塔淋洗，后經(jīng)氣水分離器將處理后的煙氣通過引風(fēng)機(jī)進(jìn)入煙囪排放。

　　2．1焚燒工藝特點

　　(1)安全性：廢氣、廢液采取焚燒處理的方式提高了處理系統(tǒng)的安全性。

　　(2)余熱回收：焚燒爐出來的高溫?zé)煔?，含有大量熱能，通過鍋爐把煙氣中的大部分熱量回收，回收煙氣中的余熱副產(chǎn)蒸汽，節(jié)約能源并產(chǎn)生經(jīng)濟(jì)效益。

　　(3)實現(xiàn)干法回收：通過旋風(fēng)除塵器及布袋除塵器雙重作用對煙氣中的SiO2進(jìn)行回收，回收煙氣中SiO2作為副產(chǎn)品，可用作相關(guān)產(chǎn)業(yè)工業(yè)原料。

(4)鹽酸回收及利用：對煙氣中的HCl進(jìn)行回收副產(chǎn)鹽酸，并可將脫吸后高純度的HCl氣體回用于多晶硅生產(chǎn)過程中的TCS合成。HCl循環(huán)工藝可大大提高整個系統(tǒng)的氯循環(huán)效率，減少資源的浪費(fèi)及對環(huán)境的污染。

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