- [鑫藍(lán)動(dòng)態(tài)]半導(dǎo)體行業(yè)的廢氣有哪些，如何處理？[ 2024-01-18 00:00 ]
- 半導(dǎo)體行業(yè)的廢氣主要包括一般氣體廢氣、含毒性物質(zhì)的廢氣、有機(jī)廢氣和含有酸性/堿性物質(zhì)的廢氣。其中，有機(jī)廢氣包括非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等，酸堿廢氣包括氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。這些廢氣的產(chǎn)生主要來自半導(dǎo)體制造過程中的清洗、刻蝕、顯影等環(huán)節(jié)。 對于這些半導(dǎo)體廢氣處理，需要根據(jù)其性質(zhì)選擇合適的方法，如洗滌法、吸附法、燃燒法等。同時(shí)，還需要注意控制處理效果，確保廢氣排放符合的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。 半導(dǎo)體廢氣處理方法有多種，主要包括以下幾種： 熱氧化法
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- [鑫藍(lán)動(dòng)態(tài)]半導(dǎo)體工業(yè)廢氣處理[ 2023-07-18 00:00 ]
- 半導(dǎo)體廢氣的成分和廢氣處理工藝方案可能會(huì)因具體的工藝過程和廢氣排放點(diǎn)而有所不同。以下是一般情況下常見的半導(dǎo)體廢氣成分和廢氣處理工藝方案的示例： 1.半導(dǎo)體廢氣成分： 氣體：常見的廢氣成分包括氨氣（NH3）、二氧化硫（SO2）、氮氧化物（NOx）、氯化氫（HCl）、二氧化碳（CO2）、揮發(fā)性有機(jī)化合物（VOCs）等。 懸浮顆粒物：半導(dǎo)體制造過程中可能產(chǎn)生微小的顆粒物，如硅塵、金屬氧化物等。 2.半導(dǎo)體廢氣處理工藝方案：
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- [鑫藍(lán)動(dòng)態(tài)]鑫藍(lán)環(huán)保-半導(dǎo)體廢氣處理-沸石轉(zhuǎn)輪+催化燃燒[ 2023-03-24 00:00 ]
- 新材料行業(yè)半導(dǎo)體廢氣處理的方法。半導(dǎo)體行業(yè)與傳統(tǒng)材料相比，新材料產(chǎn)業(yè)具有技術(shù)高度密集，研究與開發(fā)成本高，產(chǎn)品的附加值高，生產(chǎn)與市場的強(qiáng)，應(yīng)用范圍廣，發(fā)展前景好。 一、半導(dǎo)體制造工藝過程中揮發(fā)各種有機(jī)廢氣，廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。這些廢氣排放主要可以分為四類：酸堿氣體、有機(jī)廢氣。 1、酸堿廢氣主要來自擴(kuò)散、CVD、CMP及刻蝕等工序，這些工序使用酸堿清洗液對晶片進(jìn)行清洗。目前，在半導(dǎo)體制造工藝中使用普遍的清洗溶劑為過氧化氫和硫酸的混合劑。 2、
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- [鑫藍(lán)動(dòng)態(tài)]新材料半導(dǎo)體廢氣處理用什么工藝好呢[ 2023-03-08 00:00 ]
- 隨著發(fā)展，目前市場上新材料行業(yè)與傳統(tǒng)材料相比，其應(yīng)用范圍更廣了，新材料產(chǎn)業(yè)的研究與開發(fā)成本高，產(chǎn)品的附加值高在生產(chǎn)與市場性強(qiáng)，而且新材料半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展前景好。而新材料半導(dǎo)體行業(yè)在加工的過程中采用清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑，這些溶劑中含有大量的有機(jī)物成分，在整個(gè)工藝加工的過程中將會(huì)有部分的有機(jī)溶劑大部分通過揮發(fā)成為廢氣排放，這部分揮發(fā)的廢氣主要成分為具有揮發(fā)性的VOCs，下面鑫藍(lán)環(huán)?？萍迹ɡド剑┯邢薰局v解一下關(guān)于：新材料半導(dǎo)體廢氣處理。 新材料半導(dǎo)體行業(yè)廢氣
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- [鑫藍(lán)動(dòng)態(tài)]電子半導(dǎo)體廢氣處理應(yīng)該用什么工藝[ 2023-02-04 00:00 ]
- 電子半導(dǎo)體廢氣處理應(yīng)該用什么工藝？ 當(dāng)今是以半導(dǎo)體技術(shù)為核心的信息時(shí)代，半導(dǎo)體在生產(chǎn)的過程中將會(huì)產(chǎn)生大量的有毒有害氣體、有機(jī)和無機(jī)物等，那電子半導(dǎo)體廢氣處理用什么工藝？ 電子半導(dǎo)體行業(yè)在生產(chǎn)時(shí)會(huì)使用顯影劑、光刻膠、清潔劑、蝕刻液等溶劑，而這些溶劑是含有大量的有機(jī)物成分。 工業(yè)上的有機(jī)廢氣處理常用的工藝有：活性炭吸附法、酸堿中和法、燃燒法、催化燃燒法、吸收法、冷凝法等。 目前，電子半導(dǎo)體行業(yè)的廢氣采用吸附、焚燒兩者相結(jié)合的廢氣處理方法。 活性炭吸附：其原理是利用多孔性固體吸
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